Показано 1 - 1 из 1
Дата публикации Название
пн, 10/22/2012 - 18:41Материаловедение в микроэлектронике
0

Материаловедение в микроэлектронике

В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии и приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния.

Просмотров: 708 Подробнее